ꀁ定制系统

• 显微角分辨光谱仪

• 共焦拉曼光谱仪

ꀁ等离子刻蚀

• SI 500 ICP-RIE

• SI 500C 低温ICP-RIE

• SI 500 ALE系统

ꀁICPECVD

• SI 500D ICPECVD系统

• SIPAR混合ICP系统

原子层沉积

Cluster系统

ꀁ光谱仪

• 无像差

• Czerny-Turner光学系统

• 超高光通量

ꀁ探测器

• CCD

• ICCD

• EMCCD

• InGaAs

• CMOS

椭偏仪

光谱反射仪